Skip to content
中文
Search

  • 概述 +


    概述
    STACIS®4是最先进的商用主动隔振系统。它装有惯性振动传感器，配合精准的控制算法与先进的压电作动器。STACIS 可实时侦测地面振动，再凭借压电作动器的收缩或膨胀即刻消除地面振动。全新的STACIS 4建立在我们成熟的STACIS技术基础上，该技术被全球十大半导体制造商中的九家所使用。

    起初STACIS是为半导体工厂的精密光刻机，计量仪和检测设备而设计，如今是嘈杂环境中最敏感仪器的行业标准隔振解决方案，包括但不限于故障分析，纳米技术研究，纳米制造，结构生物学和材料研究等应用。

    STACIS 4包括最新改进的，低噪声的数字控制器，DC-2020带有双核处理器。这种新的先进的控制系统为使用者提供了一个易用的图形用户界面(GUI)。

    STACIS 4建立在前几代的成功架构上，增加了先进的控制算法和新的专有技术。以前无法实现对建筑物地面所有频率的振动消除，但特别是10Hz以下的振动，对高分辨率成像和计量来说是最敏感的。当与FloorSense™专有技术相结合时，STACIS 4在2hz时可减少40 dB的建筑物地面振动，在1Hz时可减少xx。下面包括STACIS 4的完整性能规格。

  • STACIS 4的优势 +


    STACIS 4的优势：
    由于刚性百倍优于其它的气垫式减振器，STACIS 没有一般气垫式减振器所面临的稳定性与过大位移的缺陷。与气垫式减振器不同的是，STACIS能很好地与设备内部已有的气垫减振系统兼容，使得两个系统各自发挥最大功效，优化减振效果。

    STACIS系统使用独特的串联式设计与高压压电技术，能在0.35赫兹到150赫兹的宽频内有效提供主动消振，并且在2赫兹以上消减95%的振动。

    比STACIS III更好的振动控制

    与行业标准解决方案相比，STACIS 4将2 Hz的振动控制提高了40 dB以上。

    稳定的串联设计允许使得您安装后即可忘记它，不像并行式设计本质上是不稳定的，需要频繁调整以保持峰值性能。此外，STACIS 4允许两级振动控制设计，可以在STACIS系统之上结合被动或主动的平行平台。随着对仪器的分辨率的要求越来越高，两级设计正变得越来越普遍。

    STACIS 4的性能相当于在稳定的地面上减少4个VC等级的振动。这种性能使用户能够灵活地在不理想的振动环境中安装仪器，从而在设施布局和设计方面具有更大的适配性。

  • 性能 +


    性能

    4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS) 
      

  • 规格 +


    规格
    Performance Specifications
    主动减振自由度
    		 6
    主动减振频段
    		 0.2 Hz - 150 Hz
    被动固有频率
    		 18 Hz 垂直和水平
    有效主动谐振频率
    		 0.35 Hz
    在1 Hz的减振
    		 85% - 96%
    ≥2 Hz的减振
    		 ≥99%
    10 磅（4.5 千克）分段输入后的安定时间（10:1 减少）
    		 0.2 秒
    内部噪音
    		 ＜0.05纳米RMS
    单个隔振器的工作负载范围 低负载：400-1100 磅（182-500千克）
    中负载：900-2100 磅（410-955千克）
    高负载：1900-4500 磅（864-2045千克）
    刚性 （1000 磅 / 454 千克 重量，中负载的隔振器） 40,000 lb/in. (73 x 105 N/m)
     距离隔振器4英寸（102 毫米）处的磁场释出
    		 ＜0.02 μG 宽频 RMS

    隔离设计，尺寸，环境和实用要求
     
    环境与安全
    		 通过CE和RoHS认证，设计符合NRTL安全认证标准
    主动隔振单元
    		 压电元件由高压放大器驱动。垂直作动器支撑被隔离的有效载荷。
    被动隔振单元 单一各向同性弹性体（不需要压缩空气
    振动传感器
    		 检波器式惯性传感器测量地面振动，并向控制系统发送与振动运动速度成正比的信号
    主动反馈控制回路 在弹簧体支撑的隔离表面下方，对地面振动进行测量、处理和衰减
    隔振器尺寸
    （宽x深x高）
    		 11.75 x 12.5 x 10.8 英寸
    300 x 320 x 275 毫米
    隔振器重量
    		 75磅（34千克）
    操作温度
    		 50° - 90° F
    10° - 32° C
    储存温度
    		 -40° - 130° F
    -40° - 55° C
     湿度 80%最大湿度为华氏68度（20摄氏度），最大露点：18摄氏度
    系统电源要求 100, 120, 230, 240 VAC
    50/60 Hz AC; <600 W
    CE认证
    每个系统的隔振器数量  最少3个
    选项 层压式不锈钢平台，框架， 垫高模块，调平装置，防地震钩，卡扣式装配
    DC-2020 控制器规格
    尺寸（宽x深x高） 19 x 8.5 x 1.75英寸.
    483 x 216 x 45 毫米
    重量
    		 6.3磅（2.9千克）
    处理器 150/75 MHz双核
    采样率 10 kHz
    模拟输出
    		 16频道
    模拟输入
    		 16频道
    状态指示灯
    		 单个LED灯
    前面板端口
    		 1个串行USB 2.0
    1个串行Micro-USB
    1个Ethernet RJ-45
    2个BNC
    后面板端口
    		 1个串行USB 2.0
    1个Ethernet RJ-45
    1个RS-232 DB-9系列，用于 STACIS 2100 隔振器
    用户界面 前面板液晶显示器
    终端程序上的字符菜单
    适用于Microsoft Windows的扩展GUI
    嵌入式Ethernet GUI

  • 网页用户界面 +


    网页用户界面：
    STACIS主动压电式解决方案可以通过直观的基于网页的用户界面(Web GUI)，从电脑端的网页浏览器*进行控制 - 不需要额外的软件。


    通过Web GUI，用户可以查看状态、管理操作和设置、输入诊断指令。


    网页用户界面增强版
    TMC为高级用户提供了一个增强版的网页用户界面，称为Web GUI Plus。它包括额外的进阶诊断功能，以及一个内置的示波器，可以监测每个轴向振动的输入和输出。

  • Applications Notes +


    Applications notes
    STACIS Quiet Island Enables High-Resolution Cryo-EM

    Performance Loss in Stacked Pneumatic Isolation Systems

    Precitech Nanoform 250 Ultra combined with STACIS increases yield

    STACIS as a Microseismic Shaker

  • Applications Photos +


    Applications Photos
    Extra thick optical bench
    TEM on STACIS active vibration isolation platform
    Cryo Transmission Electron MIcroscope for structural biology
    Scanning tunneling microscope
    Cameca NanoSIMS
    Prototype LIGO interferometer
    Quiet Island in a raised floor environment

    Back to top

  • 订购 +


    订购
    为您的特定应用和设施条件配置最佳的STACIS 4解决方案，请联系我们的主动产品应用团队寻求帮助。