高性能Micro-g®气动隔振器有各种承重能力、阻尼水平和高度控制选项,适用于原始设备制造商(OEM)的工具内应用
Electro-Damp®专为提高半导体制造应用中的吞吐量、分辨率和产量而设计。Electro-Damp II增加了模块化、数字控制、前馈、高力/高间隙执行器,多个数字用户界面专门设计用于OEM应用。
PEPS®II是一种用于TMC气动隔振系统的数字非接触式高度控制系统。应用包括需要改善稳定时间和提高产量的半导体制造设备以及需要最佳噪声性能和平台稳定性的精密实验室环境。
SEM-Closure™是一款专为扫描电子显微镜(SEM)设计的隔音罩。SEM-Closure™设计用于在一个密封和温控声学室中装载主动压电消振地板平台SEM-Base™和Mag-NetX®,用于保护SEM免受振动、磁场干扰和声学噪声的影响。
TMC的Stage-Base™ 450专门设计用作带高精度电动X-Y平台的高级半导体工具的主要消振系统。通过增加带有前馈控制的VCM,可以缩短稳定时间,进一步提高吞吐量,从而为移动平台应用提供最先进的主动振动和运动消除系统。