设备制造商可以使用STACIS®生成微米级地面振动，模拟现实世界中的地面活动，以制定工具振动标准。
半导体设备制造商、电子显微镜制造商和其他精密工具制造商都在努力为其仪器制定有意义的地面振动标准。这些标准可以从理论或经验上推导得出。理论计算非常复杂，通常不切实际或由于许多变量无法轻易建模而不能反映实际的工具灵敏度。根据经验得出的地面振动标准通常基于从各种设备在不同地面振动水平下收集的工具性能信息。这些地面振动水平和相应的工具性能用于在频谱上创建振幅的上限，该上限代表了获得可接受工具性能的地面振动水平。这两种方法都非常困难、耗时，并且不能为工具生成精确的振动规格。
STACIS隔振器在TMC自己的工厂内同时用作隔振系统和微米级地震振动器，用于测试其他隔振产品。
STACIS®提供了一种完全独特且新颖的方法来实现工具振动标准的开发。STACIS通常作为地板隔振/消振系统使用，也可用于提供微米级振动器输入。该振动器信号可以是白噪声、离散频率或正弦扫描波形。STACIS可提供独立或组合的X、Y和Z轴振动输入。作为振动器，STACIS可以消除建筑地面振动，以提供一个安静的地基，同时在其上叠加所需的频率和振幅振动频谱，以测试工具性能。没有其他哪个振动器系统可以将输入控制到如此小的幅度。没有其他哪个振动器系统既可以隔离环境地面振动，又可以提供受控的振动频谱。STACIS数字控制器在极低振幅下产生的振动不会受到测试现场周围建筑地面振动的影响。
完整的工作工具可以安装在STACIS隔振/振动器系统上，并且可以在评估整体工具性能时调整STACIS振动幅度。可以在给定的频率或给定的频带激励该工具，以确定限制整体工具性能的振动输入的精确振幅/频率关系。最终可得到工具的整体振动标准水平，其对应于工具可提供最佳性能的精确振动水平。这种测试可以相对快速、轻松地完成 - 无需将工具运送到客户现场并等待大量现场数据，也不需要依赖可疑的建模信息。
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