Skip to content

室内环境调查

environmental survey equipment
  • 概述 +


    调查设置许多最先进的超精密仪器制造商在其工具的安装要求中还规定了环境合格标准。最终安装地点通常必须满足声学噪声、地面振动和/或磁场的严格要求,以使这些仪器符合其规格。例如,电子显微镜、半导体计量工具和核磁共振光谱仪就是这种情况。


    这种“噪音”的来源各不相同,可能为公路和铁路交通、电梯、建筑、附近的人类活动以及针对特定工具要求而设计的不当建筑物。必须测量、分析这种环境噪音,并将其与制造商的规格进行比较,以确定计划安装地点是否合适。如果“原”房间不合适,那么必须确定振动、噪音或磁场消除系统是否能够将干扰减轻到制造商的规格范围内。


    TMC在测量、分析和报告室内环境数据方面拥有30多年的经验。我们了解特定工具的独特要求,并通过与相关仪器制造商保持密切联系来完善我们的专业知识。我们不仅熟悉特定的工具标准,而且还熟悉工具的特定物理尺寸、形状和质量。这使我们能够设计和制定适当的解决方案。

  • 服务 +


    • 现场地面振动调查
    • 现场声学噪声调查
    • 现场磁场调查
    • 调查由经过认证的TMC应用工程师进行
    • 解释测量数据,包括FFT分析和与特定工具标准进行比较,以确定计划安装地点的适用性
    • 包括背景、仪器、方法、数据分析、结论和测量数据的详细书面报告
    • 酌情就特定地点的解决方案提出建议
    • 测量结果采用设备制造商指定的单位
    • 安装后的现场调查是我们新TMC产品安装(地面消振平台、隔音罩和磁场消除系统)认证程序的一部分。

  • 抽样调查报告 +