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MaxDamp® - 高阻尼空气隔振系统

micro-g floor vibration isolators for OEM integration

  • 概述 +


    MaxDamp®将Gimbal Piston空气隔振器与内部防篡改粘性阻尼相结合，为此类应用提供了额外的阻尼。MaxDamp虽然不能提供我们UltraDamp系列的主动、最高阻尼，但当需要较高阻尼时，它却是一个极好的选择，其减振性能只略有减弱。MaxDamp适用于需要快速稳定有效载荷的高力、高速XY电动工作台的有效载荷。适用于半导体检测、光刻机以及其他具有相对较高力的电动工作台的仪器。

  • MaxDamp优势 +


    结合了自调平Gimbal Piston™空气隔振器的优势，并具有高阻尼作用

    非常适合具有机器人运动或电动工作台的有效载荷，可提供所需的隔振并主动稳定有效负载引起的运动

    更快的工具吞吐量和更高的产量

    从3 Hz开始的水平和垂直隔振

    共振的最小放大（8-12 dB） 

    模块化设计。可升级到Electro-Damp®主动消振

  • 特点 +


    • 更快的有效负载稳定时间。
    • LCD和半导体制造和检测工具的生产率更快、产量更高。
    • 在保持高隔振性能的同时，隔振表面有“更硬”的手感。
    • 由气流、噪音以及所产生的“机上”力引起的振动较小。

  • 性能 +


    比较GimbalPiston®、MaxDamp®和UltraDamp™之间的阻尼水平



  • 订购表 +


    联系TMC。许多TMC隔振器都具有UltraDamp™阻尼水平。